復雜光柵結構被廣泛應用于光譜儀、近眼顯示系統等領域。VirtualLab Fusion 軟件用傅立葉模態法(FMM,或者RCWA)一種簡易的仿真方法來嚴格分析任意的光柵結構。使用圖形用戶界面,可以設置堆棧的幾何圖形,從而生成復雜的光柵結構。 此例程主要用于構建具有二維周期性特征的光柵。
• 光柵工具箱中構建二維光柵的方法 − 基于介質定義的類型 − 基于界面定義的類型
• 計算之前修改高級選項和檢查定義的結構的方法。
• 提示:在VirtualLab軟件中的光柵結構中,表現為二維周期性的被稱作 三維光柵。同樣的,層狀光柵(一維周期性)被稱作二維光柵。
初始化光柵工具箱
• 初始化
− 開始菜單欄 (Start)
光柵菜單欄(Grating)
通用光柵光路圖(三維光柵) General Grating Light Path Diagram(3D Gratings)
• 提示:對于特殊類型的光柵,例如柱形光柵,
可以在光柵工具箱中直接點擊柱形光柵光路
圖(三維光柵)(Pillar Grating Light
Path Diagram(3D Gratings))
設置光柵結構
• 首先,需要定義基底(Base Block)的厚度和介質。
• VirtualLab中光柵結構在堆棧(stack) 中定義。
• 可以在基底的前表面、后表面或者前后表面同時添加堆棧(stack)。
• 例如,圖中在前表面添加了堆棧(stack)。
基于材料定義光柵的類型(例程: 柱形光柵)
堆棧編輯器
在堆棧編輯器(Stack Editor)中,界面和材料可以從中目錄(catalog) 中添加。
• 為了用一種特殊的介質定義光柵,需要添加兩個平面界面,作為介質的邊界。
兩個平面之間的介質類型可以是均勻介質(homogenous)或者調制介質(modulated)。
• 使用調制介質,就可以非常有效地描述復雜光柵結構,如柱形光柵。
柱形光柵介質
• 在目錄類別中LightTrans預設(LightTrans Defined)下柱形介質類(pillar media)中可以添加鉻柱(Chromium Pillars)。
• 這種介質可以仿真柱形結構或者在基底表面打孔的結構。
• 此例程中,矩形排布的金屬鉻圓柱位于熔融石英基底表面。
• 在堆棧編輯器的視圖中,不同材料根據折射率的高低表示為不同深淺的顏色
(顏色越深,折射率越高)。
• 注意:堆棧編輯器固定顯示x-z平面的橫截面視圖。
• 請注意:界面添加的順序固定由基底表面開始算起。
• 選中的界面會以紅色突出顯示。
• 此外,無法在此處定義光柵前面的介質(指
最后一個界面后的介質)。它會自動從光柵部件前面的材料中提取。
• 可以在光學參數設置編輯器(Optical Setup Editor)中更改這處材料。
• 堆棧周期(Stack Period)可以控制整個結構的周期。
• 對于二維周期性光柵,必須在x和y方向分別定義周期。
• 該周期也是FMM算法的周期邊界條件。
• 對于簡單的光柵結構,建議選擇與介質周期一致 (Dependent from the Period of Medium) 選項,并選擇合適的周期性介質的序號。
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